傅裏(lǐ)葉變換(huàn)紅(hóng)外(wài)光(guāng)譜(pǔ)分(fēn)析儀(yí)，MG6030

MG 6030傅(fù)裏葉(yè)變換(huàn)紅(hóng)外(wài)光譜(pǔ)分(fēn)析(xī)儀(yí)是以(yǐ)傅裏葉(yè)變換紅(hóng)外為基礎(chǔ)的多氣體光(guāng)譜分析儀。其(qí)具有(yǒu)ppb到(dào)ppm靈敏度。廣泛用於半導體生產工(gōng)藝控(kòng)製(zhì)和監控，氣體(tǐ)純度(dù)和組成(chéng)分(fēn)析，環(huán)境(jìng)有(yǒu)毒(dú)有害氣(qì)體監視和(hé)工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅裏葉變換(huàn)紅(hóng)外(wài)光譜(pǔ)分析儀(yí)能(néng)分(fēn)析(xī)含有高達40%水的(dí)氣流，能(néng)同(tóng)時分(fēn)析和顯(xiǎn)示多(duō)達(dá)30種氣體(tǐ)。分析儀(yí)儲存了校(xiào)準光譜，故省出(chū)了(liǎo)氣體(tǐ)筒(tǒng)的成本。另(lìng)外(wài)，操(cāo)作者(zhě)也會發現(xiàn)MG 6030傅(fù)裏(lǐ)葉(yè)變(biàn)換紅(hóng)外光譜分析(xī)儀(yí)操作簡便(biàn)，易於維(wéi)護。

MG 6030傅(fù)裏(lǐ)葉(yè)變換(huàn)紅外光譜分(fēn)析(xī)儀由2102傅裏葉變換紅外(wài)製(zhì)成分光計(jì)，高光(guāng)通(tōng)量取(qǔ)樣(yàng)單元，專業分(fēn)析(xī)軟(ruǎn)件(jiàn)及(jí)獨立的(dí)定量光譜庫(kù)組成(chéng)。MG 6030收集高分辨率(shuài)的紅外(wài)光譜(pǔ)與(yǔ)定量光譜庫(kù)分(fēn)析(xī)，提供(gōng)絕(jué)大多(duō)數氣體及水(shuǐ)蒸(zhēng)氣的高精(jīng)度，高靈敏度(dù)測量。

特點和(hé)優點(diǎn)：

●10ppb~100%靈(líng)敏(mǐn)度(dù)對(duì)於絕大多數有毒(dú)有害氣體

●易於移(yí)動(dòng)從(cóng)一處移到另一處(chǔ)，設置僅需幾(jī)分鐘

●同(tóng)時(shí)分(fēn)析(xī)和(hé)顯示多達(dá)30種氣體

●分析(xī)儀儲(chǔ)存(cún)了(liǎo)校(xiào)準光譜，省去了氣體筒的成本

●取樣氣體在進入分(fēn)析(xī)室前加(jiā)熱並維持(chí)恒定溫度(dù)

●綫性檢(jiǎn)測器(qì)，確保(bǎo)所(suǒ)有分(fēn)析儀(yí)維持在(zài)相同的(dí)校(xiào)準(zhǔn)條(tiáo)件下

●頻(pín)率(shuài)和分辨(biàn)率診斷(duàn)，確(què)保(bǎo)校準(zhǔn)恒定

●提供(gōng)自動(dòng)溫度和壓力補償(cháng)以確(què)保(bǎo)分析(xī)精度

●用(yòng)戶(hù)操(cāo)作簡便軟(ruǎn)件界(jiè)麵，稍(shāo)加培訓(xùn)即可操作(zuò)

分析(xī)儀(yí)主(zhǔ)機(jī)

測試技(jì)術(shù)                         傅裏葉變(biàn)換紅(hóng)外光(guāng)譜

可測試氣(qì)體(tǐ)或水蒸氣        絕大多(duō)數分子除了氮(dàn)氣(qì)，氧氣(qì)和氫(qīng)氣

範圍(wéi)                                濃度從(cóng)10ppb到100%

傅裏葉變換(huàn)紅(hóng)外(wài)               2102製成傅(fù)裏(lǐ)葉(yè)變換(huàn)紅(hóng)外

光(guāng)譜分辨(biàn)率(shuài)                      0.5 - 128cm-1

掃描速(sù)度(dù)                         每秒5次在(zài)0.5cm-1

掃描(miáo)時(shí)間                         1 – 300秒

紅(hóng)外源(yuán)                            碳(tàn)化矽(guī)在1200℃

參(cān)考(kǎo)激光                         氦(hài)氖(nǎi)（15798.2cm-1）

檢測(cè)器                            液(yè)氮冷卻(què)MCT或半導體製冷冷卻MCT（汞-鎘(gé)-碲(dì)化物(wù)）

清(qīng)潔(Purge)壓(yā)力(lì)             最(zuì)大(dà)20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量            0.2升(shēng)/分(fēn)，幹燥(zào)氮氣(qì)或(huò)露點在-70℃以(yǐ)下(xià)無二氧(yǎng)化(huà)碳的(dí)幹燥(zào)空(kōng)氣

光(guāng)學(xué)係統Purge流量         0.2升/分(fēn)，幹燥氮氣(qì)或(huò)露(lòu)點(diǎn)在(zài)-70℃以下(xià)無(wú)二氧化碳的(dí)幹燥空氣

壓(yā)力(lì)傳感器                     MKS Baratron 電(diàn)容(róng)式薄膜(mó)壓力傳感(gǎn)器(qì)

Purge連接                      Swagelok 快速(sù)接頭

電(diàn)腦(nǎo)要求(qiú)                        台式(shì)或筆記本電腦(nǎo)帶Intel奔騰(téng) 處理(lǐ)器,微軟Wingdows； XP操(cāo)作係統，1024 X 768顯(xiǎn)示(shì)

通訊口                           RJ-45交叉(chā)以太網

輸出(chū)選件                        XML，模(mó)擬，AK，其他(tā)

尺(chǐ)寸(cùn)                              445mm寬(kuān) *318mm高(gāo) * 648mm深(shēn)

安(ān)裝                              可(kě)安(ān)裝於19英寸(cùn)標準機櫃

電源                              110V或220V，50/60hz，3A

重(zhòng)量                              50公斤(jīn)

分析儀采(cǎi)樣(yàng)參(cān)數(shù)

采(cǎi)樣(yàng)溫(wēn)度                 室(shì)溫至(zhì)200℃（取決於校(xiào)準(zhǔn)溫度）

采樣(yàng)速流                 0.2 – 10升/分(fēn)

采樣壓(yā)力                 0.01 – 4大(dà)氣(qì)壓（取決(jué)於校(xiào)準壓(yā)力(lì)）

結構                        鍍鎳鋁(lǚ)，或316不鏽(xiù)鋼焊(hàn)接選(xuǎn)件

接頭                        Swagelok或VCR

采(cǎi)樣壓力                 1個大氣(qì)壓(yā)（取(qǔ)決(jué)於校準壓(yā)力）

管(guǎn)道                        加熱不(bù)鏽鋼

窗口                        KBr﹔CaF2, ZnSe(其(qí)他可(kě)選)

“O"型密(mì)封(fēng)圈        Viton(其(qí)他可(kě)選)

檢測極(jí)限

5.11米氣(qì)室，MCT檢(jiǎn)測器在(zài)0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體(tǐ)檢(jiǎn)測(cè)數據為(wéi)：