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杏彩体育:RBZ-SG系列精密Z轴
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- 作者:杏彩体育官网
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- 发布时间:2024-12-23 01:37:12
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杏彩体育:RBZ-SG系列精密Z轴
【概要描述】制动器供应商:制动器按结构可分为块式、带式、盘式和锥形。根据操作条件,可分为常闭、常开、综合等。按驱动方式可分为自动控制和综合控制。根据动力源类型的不同,可分为手动、脚踏、电磁、液压和电磁液压组合。
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高精度交叉滚柱导轨,无槽无刷力矩电机,低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距高可靠性驱动机构,使用寿命长
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴,具有纳米级微动步距,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
直驱结构,承载能力大,在一个长行程的移动范围,保持尽可能低的高度,优化阿贝误差影响,有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节,RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈,直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式,直接测量工件移动时的误差,提高了精度性能。
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度5mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
主营产品:单轴气浮运动台,气浮转台,多轴气浮运动台,单轴线轨运动台,AB轴机械转台,多轴线轨运动台,精密Z轴,笛卡尔龙门系统,定制系统及超真空运动台。